型号

Spark 70 Pt

制造厂商

Nunano

探针描述

硅基探针；5 nm Ti / 40 nm Pt反射层；

类型

接触、轻敲模式 (气相)

应用

各类接触型导电成像模式，包括导电型原子力显微术（CAFM）和压电响应型显微术（PFM）； AC模式，包括静电力显微术（EFM），扫描开尔文探针显微术（SKPM）等。

悬臂描述

Lever

1

2

3

4

Spring k (N/m)

2 (0.5 - 3.5)

-

-

-

Freq (kHz)

70 (45 - 80)

-

-

-

Length (µm)

225 (223 - 227)

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-

Width (µm)

30 (28 - 32)

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Thickness (µm)

2.5 (2.0 - 3.0)

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Shape

rectangular

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Material

硅（n型锑掺杂）

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Reflex Coating (nm)

5 nm Ti / 40 nm Pt

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针尖描述

Tip radius (nm)

18

<30

Tip height (µm)

12

10-13

Set back (µm)

7.5

6.5 – 8.5

Tip shape

Conical

Cone angle (°)

25

15 - 40

Tip material

Silicon (n-type, Antimony)

Tip coating (nm)

5 nm Ti / 40 nm Pt

Resistivity (Ω cm)

0.02

0.015-0.025